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扫描电子显微镜
2014-07-01 11:32  
扫描电子显微镜

设备名称

扫描电子显微镜

生产厂家

中国科学院科学仪器厂

设备型号

KYKY-2800B

设备简介

KYKY-2800B使用钨丝阴极时,在高真空状态下,样品(二次电子信号)形貌分辨率可达到4.5nm,放大倍数从15倍至25万倍。

KYKY-2800B型数字化扫描电子显微镜(简称KYKY2800B)是一种研究物体微观结构的大型精密电子光学仪器,通过聚焦电子束在试样表面逐点扫描,接收激发出的物理信号,形成图像。KYKY2800B具有一下特点:

(1) 具有景深大的特点,适用于粗糙表面和断口的分析观察;图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。

(2) 可以观察大型固体试样的表面结构,试样直径为0~30mm,制样方法及试样预处理工序简单。

(3) 具有较高的分辨率,最高可达4.5nm。

(4) 观察倍率范围大,从低倍率十几倍到高倍率几十万倍;对于多相、多组成的非均匀材料,便于低倍下的普通观察和高倍下的精细观察分析。

应 用

扫描电镜可应用于陶瓷材料分析、金属材料失效分析,在石油、地质、矿物领域,或者电子、半导体领域,医学、生物学领域,或者化工、高分子材料领域,或者公安刑侦工作领域,以及农、林业等方面。

技术参数

分辨率 4.5nm

放大倍数 15倍~250000倍

电子枪 发叉式钨丝阴极

加速电压 0~30kV

透镜系统 三级电磁透镜

物镜光阑 提供三个光阑(可在真空外选择、调节位置)

样品台:

标准样品台位移量 X=50nm,Y=50nm,Z=25nm,T=-5° ~ +90°,R=360°

大样品位移 X=80nm,Y=50nm,Z=30nm,T=-5° ~ +90°,R=360°

真空系统 全自动高速扩散泵真空系统

图像扫描(采集)方式:

1024*768全幅扫描

(水平)线扫描(垂直位置可调,扫描速度10µS/点)

点扫描(位置可调)

固定选区扫描

活动选区扫描(区域大小、位置可调)

双放大扫描(所选放大区域大小、位置可调)

屏幕分割扫描

随机附件

附件名称

X射线能谱仪

生产厂家

美国热电公司

附件型号

Kevex-Sigma-Level4

在KYKY2800B上安装了EDS可在观察形貌的同时进行微区成分分析;可以进行化学成分的定性定量分析,从B到U的元素;观察晶体界面成分偏聚特征;研究分子扩散现象;能够通过快速的多元素面扫描和线扫描进行分布测量。

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