0nm(15kV) 二次电子分辨率 2.0nm(1kV) 1.4nm(1kV,减速模式) 电子枪 冷场发射电子源 加速电压 0.5~30kV(0.1kV/步,可变) 放大倍率 ´20~´800,000 物镜光阑 4孔,(内置加热器) 检测器 二次电子检测器(高位/低位),法拉第杯 样品台 X:0~110mm Y:0~110mm Z:1.5~40mm T:-5~+70 º R:360º 驱动:5轴马达驱动 图像储存 640´480,1280´960,2560´1920,5120´3840 图像编辑 内置图像处理软件和图像编辑软件 图像文件格式 BMP,TIFF,JPEG 扫描速度 TV/慢速(0.5~40s/帧)用于观察 慢速(40~320s/帧)用于记录 自动数据记录 加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离 电子图像移动 ±12µm(W.D. = 8mm) 真空系统 自动调节 离子泵3台 涡轮分子泵(磁悬浮)1台 机械泵1台 |