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场发射扫描电子显微镜
2014-07-01 11:34  

 

设备名称

场发射扫描电子显微镜

生产厂家

日本日立公司

设备型号

S-4800

设备简介

H-800型透射电子显微镜具有较高的分辨本领,能提供材料细微的组织结构信息;运用选区电子衍射,可同时获得与微观形貌相对应的晶体学特征。主要应用于金属及非金属等材料的微观组织与结构分析。还有SEM、STEM观察。

 

技术参数

0nm(15kV)

二次电子分辨率         2.0nm(1kV)

1.4nm(1kV,减速模式)

电子枪                 冷场发射电子源

加速电压               0.5~30kV(0.1kV/步,可变)

放大倍率               ´20~´800,000

物镜光阑               4孔,(内置加热器)

检测器                 二次电子检测器(高位/低位),法拉第杯

样品台                 X:0~110mm  Y:0~110mm  Z:1.5~40mm  T:-5~+70 º

R:360º       驱动:5轴马达驱动

图像储存               640´480,1280´960,2560´1920,5120´3840

图像编辑               内置图像处理软件和图像编辑软件

图像文件格式           BMP,TIFF,JPEG

扫描速度               TV/慢速(0.5~40s/帧)用于观察

慢速(40~320s/帧)用于记录

自动数据记录           加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离

电子图像移动           ±12µm(W.D. = 8mm)

真空系统               自动调节  离子泵3台

涡轮分子泵(磁悬浮)1台  机械泵1台

随机附件

附件名称

能谱仪(EDS或EMAX)

生产厂家

日本掘场(HORIBA)公司

附件型号

7593-H

分辨率:133eV

分辨元素:B-U

分辨精度:1%

功能:成份点分析、线扫描、面扫描、定量面扫描

 

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