设备名称

扫描电子显微镜

生产厂家

中国科学院科学仪器厂

设备型号

KYKY-2800B

设备简介

KYKY-2800B使用钨丝阴极时，在高真空状态下，样品（二次电子信号）形貌分辨率可达到4.5nm，放大倍数从15倍至25万倍。

KYKY-2800B型数字化扫描电子显微镜（简称KYKY2800B）是一种研究物体微观结构的大型精密电子光学仪器，通过聚焦电子束在试样表面逐点扫描，接收激发出的物理信号，形成图像。KYKY2800B具有一下特点：

（1） 具有景深大的特点，适用于粗糙表面和断口的分析观察；图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。

（2） 可以观察大型固体试样的表面结构，试样直径为0~30mm,制样方法及试样预处理工序简单。

（3） 具有较高的分辨率，最高可达4.5nm。

（4） 观察倍率范围大，从低倍率十几倍到高倍率几十万倍；对于多相、多组成的非均匀材料，便于低倍下的普通观察和高倍下的精细观察分析。

应 用

扫描电镜可应用于陶瓷材料分析、金属材料失效分析，在石油、地质、矿物领域，或者电子、半导体领域，医学、生物学领域，或者化工、高分子材料领域，或者公安刑侦工作领域，以及农、林业等方面。

技术参数

分辨率 4.5nm

放大倍数 15倍~250000倍

电子枪 发叉式钨丝阴极

加速电压 0~30kV

透镜系统 三级电磁透镜

物镜光阑 提供三个光阑（可在真空外选择、调节位置）

样品台:

标准样品台位移量 X=50nm，Y=50nm，Z=25nm，T=-5° ~ +90°，R=360°

大样品位移 X=80nm，Y=50nm，Z=30nm，T=-5° ~ +90°，R=360°

真空系统 全自动高速扩散泵真空系统

图像扫描（采集）方式:

1024*768全幅扫描

（水平）线扫描（垂直位置可调，扫描速度10µS/点）

点扫描（位置可调）

固定选区扫描

活动选区扫描（区域大小、位置可调）

双放大扫描（所选放大区域大小、位置可调）

屏幕分割扫描

随机附件

附件名称

X射线能谱仪

生产厂家

美国热电公司

附件型号

Kevex-Sigma-Level4

在KYKY2800B上安装了EDS可在观察形貌的同时进行微区成分分析；可以进行化学成分的定性定量分析，从B到U的元素；观察晶体界面成分偏聚特征；研究分子扩散现象；能够通过快速的多元素面扫描和线扫描进行分布测量。