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场发射扫描电子显微镜

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发布时间:2014-07-01
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设备名称

场发射扫描电子显微镜

生产厂家

日本日立公司

设备型号

S-4800

设备简介

S-4800型高分辨场发射扫描电镜(简称S-4800)为日本日立公司于2002年推出的产品,电子发射源为冷场,物镜为半浸没式。S-4800利用电子束与物质相互作用产生的各种信号进行成像,对样品进行形貌和成份分析。该电镜在高加速电压(15kV)下,二次电子图像分辨率为1 nm;在低加速电压(1kV)下的二次电子图像分辨率为2nm,这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800主要应用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织,可依靠搭载的附件-X射线能谱仪对材料表面微区成分进行定性和定量分析,以及元素分布分析。

主要用途如下:

1. 金属、陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料的断口、表面形貌、变形层等的观察;

2. 金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定;

3. 纳米材料及其它无机或有机固体材料的粒度观察和分析;

4. 对目标区域进行材料表面微区成分的定性和定量分析,以及元素分布分析。

备注:设备对高真空有严格的要求,因此对试样有严格要求。需要样品干燥稳定,故不适于观察含水,含油样品或释放其他挥发分的样品。


技术参数

0nm(15kV)

二次电子分辨率         2.0nm(1kV)

1.4nm(1kV,减速模式)

电子枪                 冷场发射电子源

加速电压               0.5~30kV(0.1kV/步,可变)

放大倍率               ´20~´800,000

物镜光阑               4孔,(内置加热器)

检测器                 二次电子检测器(高位/低位),法拉第杯

样品台                 X:0~110mm  Y:0~110mm  Z:1.5~40mm  T:-5~+70 º

R:360º       驱动:5轴马达驱动

图像储存               640´480,1280´960,2560´1920,5120´3840

图像编辑               内置图像处理软件和图像编辑软件

图像文件格式           BMP,TIFF,JPEG

扫描速度               TV/慢速(0.5~40s/帧)用于观察

慢速(40~320s/帧)用于记录

自动数据记录           加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离

电子图像移动           ±12µm(W.D. = 8mm)

真空系统               自动调节  离子泵3台

涡轮分子泵(磁悬浮)1台  机械泵1台

随机附件

附件名称

能谱仪(EDS或EMAX)

生产厂家

日本掘场(HORIBA)公司

附件型号

7593-H

分辨率:133eV

分辨元素:B-U

分辨精度:1%

功能:成份点分析、线扫描、面扫描、定量面扫描







 

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